-
-
Криогенная низковакуумная зондовая платформа с высокой и низкой температурой
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная и низкотемпературная зондовая платформа серии CGO
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная зондовая платформа с замкнутым циклом серии CRX
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная зондовая платформа M001
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная зондовая платформа M002
Подробнее
-
Криогенная сверхпроводящая вакуумная зондовая платформа CRX-SM
Подробнее
-
Приборная установка для анализа микротечений фотонов EMMI
Подробнее
-
Прибор для тестирования полупроводниковых параметров FS-Pro
Подробнее
-
Анализатор пьезоэлектрической проводимости TF Analyzer 1000
Подробнее
-
Анализатор пьезоэлектрических свойств TF Analyzer 2000E
Подробнее
-
Сигнальные/спектральные анализаторы серии 4051A/B/C/D/E–S
Подробнее
-
Термоэлектрический вольтамперометр TF Analyzer 3000
Подробнее
Продукт
-
-
-
-
-
Высококлассная зондовая платформа CH
Типовая зондовая платформа CINDBEST CH — это полнофункциональная и высоко совместимая зондовая платформа.
Может обеспечивать тестирование различных образцов, особенно крупногабаритных, таких как 8-дюймовые и 12-дюймовые кристаллические подложки и т. д.
Также может быть использован для тестирования различных приложений, таких как постоянный ток, радиочастотные испытания и т.д.
Высококлассная зондовая платформа серии CH
- описание
- параметр
- скачать
- видео
-
Назначение
- Область применения охватывает различные приложения для измерений на уровне пластин: надежность на уровне пластины (WLR), анализ отказов (FA), инженерия интегральных схем, микроэлектромеханические системы (MEMS) и высокомощные (HP) технологии.
- Тестирование IV-кривых, CV-кривых, LIV-кривых, RF-тестирования, а также испытания при высоком напряжении и больших токах.
Эргономика и дополнительное оборудование
- Регулируемая платформа с игольчатым держателем обеспечивает быстрое поднятие и опускание, что облегчает быстрое разделение образца и зонда.
- Патрон вращается и фиксируется.
- Платформа для разъемов поддерживает позиционеры постоянного тока/радиочастоты (установка на магнитной или вакуумной основе).
- Предлагается широкий выбор конфигураций, включая различные варианты патронов, источники постоянного/радиочастотного тока/высокого напряжения от 1 до 10 кВ, миниатюрные позиционеры, микроскопы, камеры, стойки для печатных плат и многое другое.
-
Технические параметры
Модель CH-8
CH-12
Телевизионная башня
Размер Chuck
8 дюймов
12 дюймов
Выдвижная платформа для образцов
Продвижение: 110 мм
Продолжительность: 150 мм
Платформа для образцов вращается
Возможность поворота на 360 градусов с возможностью точной регулировки на 15 градусов с точностью до 0,1 градуса; оснащено устройством фиксации угла.
Способ фиксации образца
Вакуумная адсорбция, центральное адсорбционное отверстие, многослойное адсорбционное кольцо
Подъемно-опускной столик по оси Z
Регулируемая на 8 мм
Перемещение X-Y
8 дюймов × 8 дюймов
Плавающий мобильный X-Y механизм
Может перемещаться по воздуху на 360°, что обеспечивает быструю локализацию образца.
Точность перемещения X-Y
1um
Платформа для контактных гнёзд
Быстрое поднятие и опускание на 5 мм, а также точная регулировка высоты на 25 мм.
Тестирование обратного электрода
Электрически изолированная подставка для образца, свободно висящая; 4-мм гнездо позволяет подключать задний электрод (опционально).
Микроскоп
Способ фиксации микроскопа
Козловой кран с микрорегулировкой X-Y, диапазон перемещения 2" × 2".
Удобство микроскопа
С устройством быстрого наклона для удобной замены объектива, с пневматическим модулем подъема и опускания (опционально) с функцией фиксации.
Типы микроскопов
Монокулярный микроскоп
Стереоскопический микроскоп
Металлографический микроскоп
Увеличительная способность
1,5–5-кратное изменение фокусного расстояния
16X-100X
20X-4000X
Источник света
Коаксиальный источник света
Внешний светодиодный кольцевой светильник
ПЗС
2 мегапикселя (возможна модернизация до 20 мегапикселей)
Другие функции
Лазер, подлежащий загрузке
Консоль зонда
Путешествие X-Y-Z
12 мм × 12 мм × 12 мм / 20 мм × 20 мм × 20 мм
Точность перемещения
10um/2um/0.7um/0.5um
Способ адсорбции
Магнитное/вакуумное присасывание
Угол измерения точки настройки DC
0–30°
Угол регулировки RF
Кабель
Поворотный регулятор уровня с многоточечной зондовой конструкцией позволяет настраивать угол в пределах ±10° с точностью до 0,1 градуса.
Зондовый зажим
Коаксиальный кабель / Трехжильный кабель / Радиочастотный кабель
Точность обнаружения утечки электроэнергии
10pA/100fA/10fA
Стационарный зонд
Пружинное крепление / Трубчатое крепление / Крепление с зажимами
Типы соединений
BNC / трёхосный / банановый разъём / крокодиловые зажимы / клеммные колодки / радиочастотный интерфейс
Зонд
Диаметр острия иглы DC
1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um
Частота радиочастотного зонда
40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz
Материал
Вольфрамовая сталь / Бериллиевая медь / Никелирование
Габаритные размеры
750 мм (Ш) × 820 мм (Г) × 650 мм (В)
925 мм (Ш) × 947 мм (Г) × 815 мм (В)
Вес
Около 103 килограммов
Около 170 тысяч килограммов
Дополнительные приложения
Нагревательный стол
Позолоченный зажим
Противосейсмический стол
Коробка для экранирования
По индивидуальному заказу клиента
CH-8
CH-8