-
-
Криогенная низковакуумная зондовая платформа с высокой и низкой температурой
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная и низкотемпературная зондовая платформа серии CGO
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная зондовая платформа с замкнутым циклом серии CRX
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная зондовая платформа M001
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная зондовая платформа M002
Подробнее
-
Криогенная сверхпроводящая вакуумная зондовая платформа CRX-SM
Подробнее
-
Приборная установка для анализа микротечений фотонов EMMI
Подробнее
-
Прибор для тестирования полупроводниковых параметров FS-Pro
Подробнее
-
Анализатор пьезоэлектрической проводимости TF Analyzer 1000
Подробнее
-
Анализатор пьезоэлектрических свойств TF Analyzer 2000E
Подробнее
-
Сигнальные/спектральные анализаторы серии 4051A/B/C/D/E–S
Подробнее
-
Термоэлектрический вольтамперометр TF Analyzer 3000
Подробнее
Продукт
-
-
-
-
-
Прибор для тестирования полупроводниковых параметров FS-Pro
Комплексное тестирование
Сверхбыстро
Модульная архитектура
Удобство в использовании
Уникальная способность тестирования шума 1/f
Тестовое оборудование
- описание
- параметр
- скачать
- видео
-
√ Интеграционное тестирование
FS-Pro™ объединяет в одном приборе функции постоянного тока, импульсных и переходных испытаний, а также тестирования емкости и низкочастотного шума (шум 1/f), что позволяет полностью охарактеризовать низкочастотные параметры без необходимости переключения кабелей или повторной установки зондов.
√ Сверхбыстрый
FS-Pro™ внедряет технологию тестирования, управляемую искусственным интеллектом, которая обеспечивает скорость тестирования до 10 раз выше по сравнению с традиционными системами параметрического тестирования полупроводников, сохраняя при этом высокую точность.
√ Модульная архитектура
FS-Pro™ использует модульную архитектуру, которая позволяет сохранять компактный корпус и одновременно расширяться в соответствии с потребностями. Кроме того, устройство поддерживает параллельное тестирование нескольких каналов — до 20 каналов одновременно, что делает его идеальным решением для высокопроизводительных производственных тестов.
√ Удобство в эксплуатации
Встроенный программный комплекс измерений и контроля LabExpress™ обладает интуитивно понятным графическим интерфейсом пользователя, позволяющим всего за несколько кликов мыши выполнять мощные функции тестирования и анализа. Он также поддерживает различные зондовые платформы и матричные коммутаторы, что делает возможным автоматизированное выполнение задач тестирования данных на уровне кристаллов. Кроме того, данный комплекс предоставляет комплексное решение, специально разработанное для полупроводникового производства.
√ Уникальная способность тестирования шума 1/f
Особое внимание уделяется тестированию устройств с ультрасовременными технологическими процессами, устройств на основе двумерных материалов и оптоэлектронных детекторов. Шум 1/f, являющийся одним из ключевых характеристик самих устройств, существенно ограничивает их практическую применимость. Этот шум широко присутствует в полупроводниковых устройствах различных компонентов и структур, одновременно тонко отражая многие скрытые дефекты материалов и самих приборов. Поэтому измерение и анализ шума 1/f становятся новым инструментом для оценки качества, характеристики и надежности полупроводниковых устройств.
-
Основные показатели производительности компонентов
Высокоточное измерительное устройство источника SMU FS380
● Тестирование постоянного тока
Диапазон ±200 В / 1 А, максимальная выходная мощность до 200 Вт, точность измерения тока — не менее 30 фА, точность измерения напряжения — 30 мкВ; четырехквадрантный режим работы.
● Импульсное тестирование
Диапазон измерений: ±200 В / 3 А, максимальная выходная мощность — до 480 Вт, точность измерения тока — не менее 5 пА, точность измерения напряжения — 30 мкВ, минимальная ширина импульса — 50 мкс.
● Транзиентные тесты
Выход произвольной формы волны с максимальной частотой дискретизации 1,8 МС/с и минимальным временным шагом 10 мкс.
● Тестирование ёмкости (CV)
Диапазон измерений: ±200 В / 1 А, полоса пропускания 10 Гц – 10 кГц, диапазон измерения от 20 фФ до 1 мФ
● Тестирование шума 1/f
Шумовой фон: 0,1 Гц – 100 кГц, 1 × 10⁻²⁸ А²/Гц; напряжение смещения: 200 В; скорость измерений: 8 с/смещение.
Внешний модуль LCR FS336
● Тестирование конденсаторов (CV, CF)
● Диапазон ±40 В, полоса пропускания 40 Гц – 8 МГц
● Диапазон измерений от 100 фФ до 10 мФ
Графическое тестовое программное обеспечение Labexpress
Программное обеспечение для измерений LabExpress™ предоставляет полный набор функций для тестирования постоянного тока, импульсов, переходных процессов, емкости и шумов. Включает встроенную библиотеку типовых компонентов MOSFET, BJT, диодов, резисторов и конденсаторов, обеспечивая широкий спектр доступных тестов. Даже новички без специальных знаний могут легко освоиться с программой. Кроме того, LabExpress™ предлагает комплексное решение, специально разработанное для повседневной работы на полупроводниковых фабриках. Что касается анализа данных после тестирования, LabExpress™ также демонстрирует высокий уровень профессионализма: богатые возможности преобразования и построения графиков, а также распространенные алгебраические операции делают мгновенный анализ результатов еще более простым.
Ситуация использования в отрасли
В промышленной сфере FS-Pro™ уже внедрён рядом ведущих мировых проектных компаний, полупроводниковых контрактных производств, IDM-компаний и дизайнерских фирм; его точность, скорость и надёжность прошли строгую промышленную сертификацию. В научно-исследовательской области FS-Pro™ активно используется десятками университетов и исследовательских институтов, поддержавших до настоящего времени публикацию десятков высококлассных научных статей. Низкочастотный шум как эффективный метод неинвазивного экспериментального исследования всё больше признаётся учёными; при этом FS-Pro™, являясь единственным интегрированным прибором для анализа параметров полупроводников с функцией шумового тестирования, становится незаменимым инструментом в передовых исследованиях по разработке новых материалов и устройств.