-
-
Криогенная низковакуумная зондовая платформа с высокой и низкой температурой
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная и низкотемпературная зондовая платформа серии CGO
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная зондовая платформа с замкнутым циклом серии CRX
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная зондовая платформа M001
Подробнее
-
Вакуумная высокотемпературная зондовая платформа M002
Подробнее
-
Криогенная сверхпроводящая вакуумная зондовая платформа CRX-SM
Подробнее
-
Приборная установка для анализа микротечений фотонов EMMI
Подробнее
-
Прибор для тестирования полупроводниковых параметров FS-Pro
Подробнее
-
Анализатор пьезоэлектрической проводимости TF Analyzer 1000
Подробнее
-
Анализатор пьезоэлектрических свойств TF Analyzer 2000E
Подробнее
-
Сигнальные/спектральные анализаторы серии 4051A/B/C/D/E–S
Подробнее
-
Термоэлектрический вольтамперометр TF Analyzer 3000
Подробнее
Продукт
-
-
-
-
-
Индивидуальные высокотемпературные и низкотемпературные патроны
Аксессуары
- описание
- параметр
- скачать
- видео
-
Зондовая платформа с высокотемпературной и низкотемпературной нагревательной патронной головкой является ключевым компонентом, используемым в полупроводниковых тестах для точного контроля температуры образца; она позволяет проводить электрические испытания на вэйвах или чипах в различных температурных условиях.
Особенности функций:
- Широкий диапазон температур: стандартные термокарманы Cindbest с золотым или никелевым покрытием работают при температурах от -10°C до 600°C, а индивидуально изготовленные полусерийные карманы — от -60°C до 300°C.
- Высокоточное регулирование температуры: разрешение температуры доступно в нескольких вариантах — 0,1°C, 0,01°C и даже 0,001°C, а стабильность температуры достигает ±1°C или ±0,1°C.
- Быстрое нагревание и охлаждение: патрон оснащён эффективной технологией охлаждения и нагрева, благодаря чему скорость изменения температуры намного выше, чем у традиционных систем.
- Вакуумная адсорбция: за счёт вакуумного канала происходит удержание пластины, что обеспечивает стабильное положение образца во время тестирования; некоторые зажимные устройства также оснащены независимыми вакуумными каналами, что позволяет работать с пластинами разных размеров.
- Конструктивный дизайн:
- Поверхность ровная: поверхность патрона обладает высокой плоскостностью — при нормальной температуре она может достигать 10 мкм, что обеспечивает хороший контакт между пластиной и патроном, гарантируя однородность температуры и точность тестирования.
- Зажимные патроны обычно имеют тонкую конструкцию, что облегчает их интеграцию с зондом, а также способствует передаче тепла.
- Разнообразие интерфейсов: поверхность патрона обычно покрывается золотом или никелем для снижения контактного сопротивления, а также оснащена функцией электрического фермуарирования и имеет точку заземления; некоторые модели дополнительно предлагают трехосный вариант, предназначенный для измерений с низким уровнем утечки/шума.
- Способы охлаждения и нагрева:
- Воздушное охлаждение: используется воздушное охлаждение, отсутствуют жидкости или элементы Пельтье; это обеспечивает высокую безопасность, а также позволяет минимизировать площадь, занимаемую хладагентом, и экономить пространство.
- Охлаждение жидким азотом: использование жидкого азота позволяет достигать низких температур, таких как -196°C, с автоматическим регулированием температуры.
- Сфера применения: в основном используется для термоэлектрического анализа полупроводниковых приборов и пластин, например, для тестирования моделирования силовых устройств, оценки надежности пластин, производственного термочувствительного контроля, термооптических испытаний, радиочастотных термотестов и т.д.
Cindbest Heating Chuck